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Process Analyzer

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IRGAS system

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IRGAS system

FT-IR 기술 응용으로 다양한 가스 농도를 정량화 할 수 있는 실시간 가스분석기 입니다.

제조사
CIC Photonics
원산지
미국
특징
• 이동이 가능한 빠르고 정확한 온라인 가스 분석 시스템
• FT-IR 방식을 이용한 온라인 가스 분석
• 높은 감도와 빠른 응답 속도로 실시간 가스 누설, 오염, 수분 분석
• 컴퓨터에 의해 모든 부분의 제어 가능한 일체형의 구조
• 특수한 가스 샘플장치와 FTIR을 이용한 실시간 분석
• 사용자의 응용에 맞는 다양한 path length와 가스셀(Gas Cell) 구성

Specifications
• 크기: 66 x 61 x 89 cm (26 x 24 x 35 inch)
• 무게: 77 kg (170lbs)
• 전력: 600W
• 질소 가스량: 10 slpm
• Max pressure: 150 psi
• Max temp: 220°C

* 가스별 분석 성능
• Component Formula LODs(ppm)
• Silane SiH4 0.2
• Carbon Monoxide CO 2.5
• Carbon Dioxide CO2 0.1
• Gemane GeH4 0.1
• Water H2O 0.02
• Hydrogen Chloride HCl 0.09
• Hydrogen Fluoride HF 0.0045
• Dichlorosilane SiH2Cl2 0.4
• Diborane B2H6 0.1

응용
• 일괄적재물(Batch Load Lock ), 운송챔버, 공정챔버내의 수분 분석
• 예방정비 후 공정가스의 누출 여부 확인
• 공정 가스 농도 분석-가스탱크 변경 후 점검
• 배출 가스의 불산(HF) 분석을 통한 반응조 오링(O-ring) 마모 모니터링
• 가스 정제화기 수명 모니터링

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제조사 제품명 제목
CIC Photonics IRGAS system

제조사 : CIC Photonics

제품명 : IRGAS system

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